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分流式分子泵应用于氦质检漏仪
涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow独立机械和真空结构设计,广泛应用于国内,国际
爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商,选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.
分流式涡轮分子泵SplitFlow优点
紧凑设计,占地空间小
对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比
集成分子泵控制器
防护类型IP54适合于工业用途
准S2和UL/CSA认证
运行数据监控***分子泵运行安全性
涡轮分子泵应用于***真空互联装置涡轮分子泵应用于***真空互联装置
***真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的***真空腔体连接起来,例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等,传样过程中******真空量级的真空增量,***真空互联系统很多可以连接8个腔体左右,极限真空好于1E-10mbar!
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高度可靠的新型涡轮分子泵:安全、耐用、***、体积小巧
在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能,保障其很高运行安全性。在轴承方面,的复合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。
泵运转时震动和噪音大
1.转子动平衡不好;
重新进行转子动平衡;
2.轴承润滑不好或轴承损坏;
检查并修复油路,或更换轴承;
3.前级压力过高;
降低前级压力;
4.泵安放位置不正确。
按照使用说明书正确安装。
涡轮分子泵系统常见故障及排除
故障
原 因
排除方法
极限真空度低
1.前级泵不匹配,抽气量不足;
重新选配合适的前级泵;
2.系统漏气;
查出并消除漏处;
3.泵体出气。
对泵体进行烘烤除气,烘烤温度不应高于150℃。
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氦质谱检漏仪质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。氦质谱检漏仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。
同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪,并实时监控检漏仪显示漏率。
无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,ULVACYM-RL-1201A干式机组,或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案,都可提供相应的解决方案。:氦质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别?现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了***的改进和发展。
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