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德国莱宝二手进口泵升级改造免费咨询

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我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。

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结构组成:涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理:

 主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,德国莱宝二手进口泵升级改造,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。



特点:抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~***真空极限真空:10-6/ 10-10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 


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