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广州潽拓光电——Varian Turbo-V300HT
的转子设计与Twis Torr技术相结合,可将泵级数减少30%
我们***的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差
电机缩短启动时间并在气体负荷变化下提高泵的稳定性
热耗散***,真空性能更高
的水冷系统
优化的风冷系统
洁净的免维护真空
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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修
概要:
涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵,通常和辅助泵配套使用。
主要用途:半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他***真空设备等。
标准规格如下:
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广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD