广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 Alcatel ATH1600M分子泵维修
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真空泵维修中,潮州阿尔卡特进口分子泵,一般会接到以下几个故障案例:①会出现真空泵无法启动;②真空泵达不到极限真空;③真空泵的抽速太慢;④真空泵工作中的温度过高;⑤真空泵的噪音过大;⑥真空泵漏油。本文主要来详细分析下真空泵无法启动这一个问题,用过真空泵的用户应该都会知道,使用真空泵的过程中,如果长期未使用或者出现故障时都会导致真空泵无法正常启动,例如,启动一下就会突然停下了,甚至都启动不了。Alcatel ATH1600M分子泵维修
真空泵机械选择:
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵维修
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 Alcatel分子泵控制器维修
泵温太高的原因可以是泵环境温度太高,进气温度太高,进气冷却装置失效,泵长期连续运转入中压力太高;水冷泵冷却水量不足,循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。漏油。可以发生在轴封,油箱与泵零部件的密封面,放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处,气镇阀(例如2X-8)等部位。
罗茨泵的特点是启动快、功耗少、运行维护费低、抽吸速度大、效*高,对被抽吸气体中含有的少量水蒸气和灰尘不敏感;水环式真空泵结构紧凑,叶轮转速快,可以和电机直接进行连接,不需要减速装置。进气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修便捷。Alcatel分子泵控制器维修
运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出,排出气体会在油层表面产生大量气泡,并从泵排气孔中溢出,造成油品损失与设备污染。加防抗泡剂泵油,在抗泡效果上有明显提高。天然矿物油均有其不可避免漏洞,耐热化性能要比合成油差,泵油成份随热氧化分解极易劣化,极限压力稳定性差,抽速也随运用时间下降。Alcatel分子泵控制器维修
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