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广州潽拓光电科技——英国Edward*涡轮分子泵 nEXT300D出售

   nEXT 泵可以告诉用户何时需要维护以及需要何种程度的干预。维护需求会通过泵上闪烁的 LED 序列以及串行通信通知提示用户。

   灵活性同样很重要，因为这些简单的维护可以由*终用户执行，或者由 Edward* 现场维修技术人员在现场执行，也可以将泵返回给 Edward* 维修中心。

  nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ***100 或 CF100 入口法兰，普发涡轮分子泵技术支持，具备 300ls-1 的 N2抽速。nEXT 泵将我们的成熟轴承技术（油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承）以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起，以提供改进的抽速和压缩比，同时提供真正的用户可维护性。

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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON 

INFICON皮拉尼复合真空计

产品型号：BPG400

I

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制，从低至超高真空范围

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

很好的重复性，压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件，普发涡轮分子泵，***高度重复性

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广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，普发涡轮分子泵维修店，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD