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涡轮分子泵的优点: 启动快 耐各种射线的照射 耐大气冲击 无储气和解吸作用 无油蒸气污染或污染极shao 可获得洁净的超高真空
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磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态,其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制.
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