潽拓——莱宝真空分子泵TURBOVAC 450i，分子泵

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旋片真空泵的清洗工艺

为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质，必须进行的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。

旋片真空泵的清洗

为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。没有必要清洁新的旋片真空泵，但有必要检查管道入口是否干净，没有异物，并擦去表面腻子。

玻璃塞在使用中清洁

在使用玻璃塞一段时间后，它经常泄漏并且难以旋转。此时，棉花可以用汽you，三氯乙xi或四氯化tan擦洗，以去除油脂。溶ji完全蒸发后，使用适当类型的真空油脂密封。

清洁金属部件

一般旋片真空泵小金属部件，用有机溶ji除油，然后晾干。如果对金属部件和材料有特殊的清洁要求，此时的清洁方法可根据具体要求进行处理，一般原则是尽量减少天然qi和污染源。

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结构组成：涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理：

 主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙，动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

特点：抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空极限真空：10-6/ 10-10torr

缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高