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   广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队.

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leybold Turbovac 340MCT莱宝悬磁浮分子泵提维修技术服务


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    广州潽拓光电科技有限公司主要经营leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等***分子泵专业维修厂商。





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广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

  2000 L 磁悬浮分子泵研制中,edwards爱德华,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计。控制器中,对不同振动采用不同方法抑制:陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动,依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性,分子泵平稳升速到24000 r/ min,英国edwards爱德华,样机达到了设计真空性能指标。

  在分子泵转子设计中,美国爱德华edwards,转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子最da工作转动频率即400 Hz,但其对转子振动的影响依然不能忽略,尤其在高速运行时,陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。通常认为传统轴承支承的转子,反向涡动很难被激发,但对电磁轴承转子系统,经常可观察到反向涡动被激发出来。因此,在转子工作于整个转速范围内时,均应为弯曲模态振动提供足够阻尼,避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上,如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼,转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。


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